2XZ旋片式真空泵系双级高速直联结构旋片式真空泵。它有偏心地装在泵腔内的转子,及转子槽内的旋片。转子带动旋片转时,旋片紧贴腔壁,把进、排气口分隔开来,并使进气积腔容积周期性地扩大而吸气,排气腔容积则周期性地缩小而压缩气体,推...... 2XZ旋片式真空泵系双级高速直联结构旋片式真空泵。它有偏心地装在泵腔内的转子,及转子槽内的旋片。转子带动旋片转时,旋片紧贴腔壁,把进、排气口分隔开来,并使进气积腔容积周期性地扩大而吸气,排气腔容积则周期性地缩小而压缩气体,推开排气阀排气,从而获得真空。图一为单级泵的工作原理示意图。双级是两个单级串联而成。