核芯光电科技(山东)有限公司(下称:公司),成立于2019年9月。公司注册资本金5300万元,规划用地160亩,建筑面积12万平方米, 一期用地52亩,建筑面积5.3万平方米,总投资额6.5亿元。
公司致力于高性能光电传感器的国产化,打破国外垄断,是国内掌握高性能光电传感器制备技术且性能指标 达到国际先进水平的高科技公司。主要产品包括两部分:1、光电传感器产品包括两类:1)X射线、带电粒子探测应 用的PIPS类产品(Si-PIN传感器、硅漂移室传感器SDD、硅像素传感器SPD、硅微条传感器SSD,等);2)近红外、可见光、紫外波段PD 类产品(单像元、多像元、线阵、面阵等),APD 和 SPAD 类产品;2、核心部件产品,包括XRF 核心部件,XRD 核心部件,核仪器核心部件,医学影像核心部件,工业CT核心部件等。
产品的应用领域包括:医疗设备、航空航天、安防、激光测距、激光雷达、生命科学、污染检测、分析仪器、工业设备、光通信以及汽车等诸多领域。公司技术团队研发的相关产品已在空间科学、核探测及环境安全等领域替代了国外公司产品。
6英寸半导体工艺线包括氧化、光刻、离子注入、溅射等全半导体工艺流程,以及划片、粘片、键合、测试等后工 艺设施,以及与之配套的去离子水系统、工艺气系统(高纯氧、氮、氦等)、动力系统、废气废水处理系统等。主要用 于高性能光电传感器芯片的研发、关键技术的突破,以及传感器产品(可见光、紫外、X射线、γ射线、 带电粒子)的 小批量生产,将来可以拓展到硅紫外传感器及化合物半导体红外传感器的研发与小批量生产。目前6寸产线已建 成运行,同时具备芯片设计、晶圆制造、封装测试、部件开发的技术和能力。该产线是我国在光电传感器领域专用的硅半导体工艺批量生产线,产线产品性能指标经客户评测达到国际先进水平。
在产学研方面,已与中国科学院空间科学研究中心、中国科学院紫金山天文台、西北工业大学计算机系、曲阜师范大学理工学院、烟台大学核装备与核工程学院、济南大学等建立了合作关系,共同致力于技术创新与产品开发。
核芯光电公司目前已获批山东省“专精特新”中小企业、山东省标准化试点项目、枣庄市重点实验室、枣庄市 技术创新中心、枣庄市企业技术中心、枣庄市高价值发明专利培育试点项目、山东省创新型中小企业、国家科技型中小企业等荣誉与资质。