Chem 20™ Chemical Particle Counter
Les processus microélectroniques de pointe exigent des produits chimiques très propres qui sont fortement filtrés et réglementés à une taille de particules inférieure ou égale à 20 nm. Avec une sensibilité de particules de 20 nm, le nouveau compteur de particules chimiques PMS Chem 20 est le plus sensible pour les produits chimiques de haute pureté.
De nombreuses données sur les systèmes de conditionnement et de distribution de produits chimiques prouvent que le capteur PMS Chem 20, avec sa sensibilité de 20 nm, détecte les concentrations plus importantes de particules avec de meilleures statistiques que les produits concurrents. Le compteur de particules chimiques Chem 20 est un outil efficace qui permet aux ingénieurs spécialisés dans les installations et les process de détecter et caractériser rapidement les sources des particules chimiques avant qu’elles n’aient un impact sur les performances du process et de l’appareil.
Maintenant avec capacité d’échantillonnage à seringue avec le SLS-20
Sensibilité de 20 nm pour les produits chimiques grâce à l’optique laser et les détecteurs avancés
Débitmètre intégré pour régler le débit de l’échantillon
Premier compteur de particules optimisé pour des produits chimiques à indice de réfraction faible et élevé, assurant des performances accrues:
Capteur Chem 20 pour produits chimiques à indices de réfraction inférieurs
Capteur Chem 20-HI, adapté pour l’acide sulfurique et d’autres produits chimiques à indice plus élevé
Détection de fuite intégrée pour générer une alarme en cas de fuite chimique interne
Détecteur et alarme de faible débit pour assurer la cohérence des données
