KDT300
Stabiler Hochlast-xy-Tisch
Anwendung: Transporttisch, Scanningtisch für hohe Lasten
Vorteil: hohe Lebensdauer trotz Trockenschmierung
Merkmale: hohe Lebensdauer trotz Trockenschmierung
- Vakuum: alle Bereiche HV / UHV / EUV bis zu 10E-11
- Flüssigschmierung bis 10E-11
- Apertur: 80 x 80 mm
- Max. Ausheiztemperatur: 120°C
Optionen:
- Mit und ohne Messsystem
- Wahlweise mit Steuerung FMC400/450
- Verfahrwege bis zu 80 mm für Lasten bis zu 10 kg
- Wahlweise mit Spindelantrieb oder geschmiertem Kugelgewindetrieb für höhere
Geschwindigkeiten
- Kombinierbar mit Drehtischen (z.B. DT155) für rotierende Anwendungen
- Auf die Anwendung abgestimmte Materialauswahl und Vakuumschmierung
- Individuelle Anpassung an die Einbausituation in der Kammer
- Ausführung für Reinraum ISO 14644-1 (bis Klasse 1 auf Anfrage)
Technische Daten:
- Verfahrwege: 10 mm, 50 mm, 10 mm
- Wiederholgenauigkeit:
- ± 2,8 µm, ± 0,7 µm, ± 0,4 µm, ± 2,8 µm (unidirektional)
± 0,5 µm, ± 4 µm (bidirektional)
- Last: → 44 N / ↑ 120 N
- Max. Geschwindigkeit: 10 mm/s
- Motor: Schrittmotor
- Führung: Kreuzrollenlager aus rostfreiem Stahl, Hybrid
- Feedback: Offene Schleife, lineare Skala
- Auflösung des Messsystems: 0,1 µm
